兩相流動(dòng)的液氮進(jìn)入氣液分離器以后，氣體被排往室外，剩下的就是純的、不含氣體的液氮，溫度為-196°C。純的液氮在重力的作用下通過真空多層絕熱低溫液體管進(jìn)入低溫夾套。由于最低處液氮存在的靜壓，所以溫度會(huì)稍低一點(diǎn)。液氮在低溫夾套吸熱以后，比重改變，于是更輕的液氮回流至氣液分離器內(nèi)比液面更高的位置。其中的氣體被排出，液體則繼續(xù)使用。
液氮密閉循環(huán)系統(tǒng)用于對MBE 設(shè)備進(jìn)行低溫冷卻，能夠保障工藝生長與極限真空，整個(gè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)必須能符合 MBE 操作進(jìn)行的液氮自動(dòng)循環(huán)，提供液氮純化、氮?dú)庖夯⒑徒档鸵旱獡p耗功能效果
TSG D0001-2009 《壓力管道安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程-工業(yè)管道》
TSG D2001-2006 《壓力管道元件制造許可規(guī)則》
TSG D3001-2009 《壓力管道安裝許可規(guī)則》
TSG D7001-2013 《壓力管道元件制造監(jiān)督檢驗(yàn)規(guī)則》
TSG D7002-2006 《壓力管道元件型式試驗(yàn)規(guī)則》
從液氮儲(chǔ)槽開始到氣液分離器之間輸送液氮的真空多層絕熱低溫液體管道、氣液分離器和一個(gè)或者多個(gè)低溫夾套之間的供給和回流排氣管道組成。1.它包括內(nèi)筒體、外筒體、進(jìn)液閥、出液閥、調(diào)節(jié)閥和控制箱模塊等管路配件組成。主要應(yīng)用于低溫工況下，實(shí)現(xiàn)工作介質(zhì)氣相和液相的分離，氣相達(dá)到一定壓力通過調(diào)壓閥減壓，從排氣口排出室外。液相儲(chǔ)存在罐體的內(nèi)部，底部設(shè)置有出液口。出液口通過管段將液相介質(zhì)流入設(shè)備內(nèi)，給腔室降溫或進(jìn)入冷肼維持低溫狀態(tài)。
工作壓力可以根據(jù)用戶的需求進(jìn)行精細(xì)化設(shè)計(jì)，容積可以根據(jù)設(shè)備的流量進(jìn)行優(yōu)化選取。
最大允許工作壓力：1.6MPa
設(shè)計(jì)溫度：-196℃
容積：30-200升
分離器含6個(gè)及以上接口，分器接口為 S1250規(guī)格真空插刀，入口為S625規(guī)格真空插刀。S1250 接頭設(shè)計(jì)為 TRIAX型，確?？梢砸旱斔秃偷?dú)饣亓鲀捎茫峁?/span>MBE和分離器的管道連接活動(dòng)性必須滿足MBE操作時(shí)液氮使用量大于50LPH分密器大于20L液氮容量，必須含有流量控制閥、安全閥、液位感應(yīng)器、液位控制 PLC、液位顯示器。
